1958年10月28日上海技术物理研究所由中科院华东办事处（现中科院上海分院）与复旦联合创办成立，在复旦大学内。

　　1961年1月开始独立建制，隶属于中国科学院上海分院。

　　1962年9月1日改名华东技术物理研究所，隶属于中国科学院华东分院。

　　1964年2月3日中科院党组决定我所是中国科学院红外技术研究中心之一。

　　1968年3月1日划到国防科委第十五研究院，称为十五研究院1510所，番号为中国人民解放军南字834部队。

　　1970年6月恢复中国科学院上海技术物理研究所名称。

　　1972年4月18日迁址上海市中山北一路420号，占地108亩，为所的长远发展提供了有效空间。